三坐标测量仪主要用于测量几何元素的形位公差，包括点、线、圆、面、球、弧、椭圆、圆柱、圆锥、键槽、曲线、曲面等。形位公差是三坐标测量仪中的一个重要指标，它是指测量物体表面形状的误差，对于制造和加工物体具有重要意义。三坐标测量仪的形位公差测量仪可以精  确测量物体的形状和位置，提高加工效率和产品质量。