X射线能谱分析介绍

各种元素都具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

X射线能谱分析，简写EDS，通常通过配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，是用来对材料微区成分元素种类与含量进行分析：利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，来提供样品化学组成方面的信息，可定性、半定量检测大部分元素（Be4-PU94），可进行表面污染物的分析。

(1)定性分析

EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步，即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类，Zui后定量分析的精度就毫无意义。

(2)定量分析

定量分析是通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算成浓度比。Zui广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。

EDS即通过将扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）和能谱（EDS）组合在一起，是一种对药物或材料等成分进行分析的组合检测设备。铄思百检测实验室拥有SEM-EDS & TEM-EDS以及完备的检测能力。利用SEM-EDS & TEM-EDS检测机械部件样品，对杂物分布进行微区元素分析，样品数量多时，样品尺寸z好一致。样品表面应当平坦或经研磨抛光，可以保证检测的几何条件不变。基于SEM-EDS & TEM-EDS方法的半定量分析方法检出限低、测量速度快、测量元素多，快速定性及半定量分析后可以为检测科研机构和企业提供元素存在的信息，并为下一步骤进行定量分析提供了合理的浓度范围。